英杰電氣中頻濺射電源憑借優異的波形調制技術，可實現輸出直流、直流脈沖、雙向方波、雙向梯型波等波形。產品具有輸出波形可調，輸出頻率可選，占空比可調，功率控制精準，以及低能量存儲和快速的電弧反應。為鍍膜工藝提供便利、精準的控制。產品主要應用于各種薄膜制造工藝，太陽能電池片行業，真空鍍膜行業；應用工藝：磁控濺射工藝、孿生靶濺射、管式PECVD。